На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ | |
Номер публикации патента: 2194805 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C25F003/12 | Аналоги изобретения: | STEINER P., KOZBOWSKI F., WIELUNSKI М., LANG W. Jpn. J. Appl. Phys., vol.33, 1994, p. 6075-6077. SU 552350, 30.03.1977. US 5318676 A, 07.06.1994. JP 06-268255, 22.09.1994. |
Имя заявителя: | Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В.Лукина | Изобретатели: | Корсаков В.С. Плавич Л.А. Борисов А.Г. Васенков А.А. Мазуренко С.Н. Самсонов Н.С. Трутнев Н.Ф. | Патентообладатели: | Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В.Лукина |
Реферат | |
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для получения люминесцентных экранов и индикаторов. Предложен электролит для получения пористого кремния путем электрохимического травления монокристаллического кремния, содержащий 50%-ный водный раствор плавиковой кислоты и этанол, взятые в соотношении 1: 1, дополнительно ввести двуокись кремния, концентрация которой не превышает 2 моль/л.
|