|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СОСТАВ ПОЛИРУЮЩЕГО ТРАВИТЕЛЯ ДЛЯ КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2057209 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C25F003/30 | | Аналоги изобретения: | 1. Сангвал К. Травление кристаллов. Теория, эксперимент, применение, М., 1990 с.450. 2. Там же, с.456. |
| Имя заявителя: | Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН | | Изобретатели: | Зайцев В.К.
Соломкин Ф.Ю. | | Патентообладатели: | Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к электрохимии, в частности к электрохимическому полирующему травлению кремния n- и p-типа, любой кристаллографической ориентации скоростью порядка Vмаx 60 мкм/мин. Состав для полирования кремния содержит, г/л: сульфат никеля семиводный 200 - 400; плавиковая кислота 28,7 - 63,2.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента