На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СУСПЕНЗИЯ ДЛЯ ЭЛЕКТРОФОРЕТИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ | |
Номер публикации патента: 1610939 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C25D013/02 | Аналоги изобретения: | Журавлев Г.И. и др. Нанесение покрытий электрофорезом. Защитные покрытия на металлах. Киев: Наукова думка, 1967, с.98-101. Изготовление металлодиэлектрических подложек. Технологическая инструкция, ПБАО, 045, 184, ТИ. М.: МИЭТ, 1987. |
Имя заявителя: | | Изобретатели: | Гроссман Б.С. Зайдман С.А. Караваева Н. |
Реферат | |
Изобретение относится к электрофоретическому осаждению диэлектрических покрытий и может быть использовано при изготовлении металлодиэлектрических подложек в микроэлектронике. Цель изобретения - уменьшение разнотолщинности покрытий, улучшение их электроизоляционных свойств и расширение технологических возможностей. Суспензия по изобретению содержит, мас.%: ситаллоцемент системы BaO-MgO-B2O3-SiO2 2,5 - 3,5; азотнокислый алюминий (девятиводный) 0,003 - 0,009 и изобутиловый спирт - остальное. Она обеспечивает формирование покрытий на подложках различных размеров, маленьких и больших (более 60 · 48 · 1 мм), с отверстиями диаметром менее 1,6 мм, с высокой плотностью и высокими электрофизическими характеристиками, что повышает выход годных подложек. 2 табл.
|