Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет) (СКГМИ (ГТУ) (RU)
Изобретатели:
Козырев Евгений Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет) (СКГМИ (ГТУ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области гальванотехники и может быть использовано при получении микроканальных структур для усиления пространственно-заряженных частиц в производстве элементов электронной техники. Способ включает обработку изделий импульсным током в электролите, содержащем, г/л: борную кислоту 8-12, щавелевую кислоту 15-20, буру 10-12, сульфат магния 15-20 и паравольфрамат аммония 5-7. Обработку ведут при температуре электролита 18-22°С. Амплитуда импульса тока катодного полупериода составляет 0,15-0,25 от амплитуды импульса тока анодного полупериода. Обработку проводят при плотности тока 1,2-1,6 А/см2 . Способ позволяет усовершенствовать структуру оксидной пленки, получить высокую степень упорядоченности пористой структуры, улучшить эластичность пленки и увеличить диаметр пор. 1 табл., 1 пр.