SU 917364 A1, 30.03.1982. RU 2180021 C2, 27.02.2002. RU 1757432 С, 30.08.1994. WO 03038158 A2, 08.05.2003. DE 10065643 A1, 18.07.2002. JP 02033995 А, 05.02.1990.
Имя заявителя:
МЕКО ЭКВИПМЕНТ ЭНДЖИНИРЗ Б.В. (NL)
Изобретатели:
ЛОЭРМАНС Петер Якобус Герардус (NL) ВАН ДЕ ВЕН Аугустинус Корнелис Мария (NL)
Патентообладатели:
МЕКО ЭКВИПМЕНТ ЭНДЖИНИРЗ Б.В. (NL)
Приоритетные данные:
09.02.2004 NL 1025446
Реферат
Изобретение предлагает способ электролитического увеличения толщины электропроводящего рисунка на диэлектрической подложке, содержащий этапы: погружение подложки с присутствующим на ней рисунком в электролитическую ванну, приведение отрицательно заряженного электрода в электрический контакт с рисунком в электролитической ванне во время погружения подложки и осуществление контактного движения электрода и рисунка относительно друг друга в электролитической ванне во время погружения подложки. Изобретение также предлагает устройство для электролитического увеличения толщины электропроводящего рисунка на диэлектрической подложке. При этом электрод в указанном устройстве большей частью помещен внутри полости экранирующего элемента, в ограниченной степени выходя наружу из этого экранирующего элемента. Техническим результатом изобретения является обеспечение однородного увеличения толщины электропроводящего рисунка на диэлектрических подложках при относительно больших толщинах слоя, 10-20 мкм. 5 н. и 28 з.п. ф-лы, 9 ил.