Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Центр перспективных технологий" (RU)
Изобретатели:
Мешков Георгий Борисович (RU) Синицына Ольга Валентиновна (RU) Яминский Игорь Владимирович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Центр перспективных технологий" (RU)
Реферат
Изобретение относится к областям микроэлектроники, электрохимии, микро- и нанолитографии и т.д. и может быть использовано для локального анодного окисления материалов, используемого при создании элементов микросхем, микро- и наноструктур, микромеханических и сенсорных систем. Согласно изобретению в зонде для локального анодного окисления материалов, выполненном в виде иглы с покрытием, электропроводящие свойства материалов иглы и покрытия, а также форма покрытия на игле подобраны так, что по крайней мере поверхность острия иглы обладает свойствами диэлектрика, а остальная часть иглы способна пропускать по крайней мере поверхностный электрический ток, причем ближайшая точка электропроводящей поверхности иглы удалена от крайней точки острия иглы на расстояние не более 1 микрометра. Техническим результатом изобретения является повышение более чем в 3 раза срока эксплуатации известного зонда для локального анодного окисления материалов, осуществление более точного контроля за процессом локального окисления материалов и увеличение более чем в два раза пространственного разрешения, с которым формируют наноструктуры на окисляемых материалах. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента