|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА |  |
Номер публикации патента: 2228971 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C25B001/24 | | Аналоги изобретения: | JP 04-032592 А, 04.02.1992. RU 2184698 С1, 10.07.2002. RU 2182555 С1, 20.05.2002. JP 08-134675 А, 28.05.1996. JP 02-263988 А, 26.10.1990. JP 01-191792 А, 01.08.1989. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие Российский научный центр "Прикладная химия" (RU) | | Изобретатели: | Красильников А.А. (RU)
Каурова Г.И. (RU)
Барабанов В.Г. (RU)
Калинин Ю.Н. (RU)
Смирнов С.Н. (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие Российский научный центр "Прикладная химия" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к получению неорганических фторидов, в частности к электрохимическому способу получения трифторида азота (ТФА). Трифторид азота применяется как носитель фтора в технологии травления кремниевых кристаллов при производстве микропроцессоров, а также как окислитель в лазерах с высокой энергией излучения.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента