|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНФИГУРАЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ КРЕМНИЙСОДЕРЖАЩИХ СЛОЕВ |  |
Номер публикации патента: 2057204 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23F004/00 | | Аналоги изобретения: | 1. Lee Y.G., Chen M.M., Bright K.A. Reactive etchind, mechanism of silicide in CF |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт электронной техники | | Изобретатели: | Сивак В.М.
Попова Т.С.
Шуленин Ю.Н. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт электронной техники |
Реферат | |
Изобретение относится к способам получения конфигурации кремнийсодержащих слоев, преимущественно силицидов тугоплавких металлов и кобальта, и может быть использовано, в частности, при изготовлении полупроводниковых приборов, например токопроводящих систем интегральных схем и тонкопленочных резисторов с положительным ТКС для СВЧ-транзисторов, транзисторных сборок и гибридных схем.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента