RU 2287610 C2, 20.11.2006. RU 2294395 C2, 27.02.2007. RU 2087585 C1, 20.08.1997. EP 1717338 A1, 02.11.2006. EP 1111087 B1, 30.05.2007.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") (RU)
Изобретатели:
Галанихин Александр Васильевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") (RU)
Реферат
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройствам для вакуумного нанесения пленок с использованием электромагнитного излучения. Устройство содержит вакуумную реакционную камеру, размещенный в камере электрически изолированный подложкодержатель в виде полой усеченной составной пирамиды, нагреватель подложкодержателя, систему подачи реагентов, вакуумную систему, электрически соединенные источник электромагнитного излучения, электрический вакуумный ввод, элемент реализации электромагнитного излучения и экран в виде охватывающего подложкодержатель металлического заземленного стакана. Подложкодержатель с усеченной стороны дополнительно снабжен крышкой и размещенной на внешней стороне крышки антифрикционной пластиной, а на его боковых стенках с внешней стороны установлены рабочие подложки. Элемент реализации электромагнитного излучения выполнен в виде съемного и разъемного перпендикулярно вертикальной оси экранированного полого цилиндрического корпуса с центрирующей канавкой на внутренней горизонтальной поверхности. В цилиндрическом корпусе в прямой последовательности расположены спиральная пружина и толкатель в виде диска с центрирующей канавкой со стороны спиральной пружины, выполненный с возможностью возвратно-поступательного движения вдоль вертикальной оси полого цилиндрического корпуса. Электрический вакуумный ввод, вакуумная реакционная камера, экран подложкодежателя, полый цилиндрический корпус, спиральная пружина, антифрикционная пластина, крышка и подложкодержатель расположены соосно. Угол наклона боковых стенок подложкодержателя с внешней стороны относительно вертикальной оси составляет не более 3°. Повышается качество и воспроизводимость пленок за счет обеспечения надежной и стабильной подачи электромагнитного излучения на подвижный подложкодержатель, а также повышается производительность и упрощается эксплуатация. 3 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 пр.
Поиск патентов
Получить полное описание патента