US 2005016461 A1, 27.01.2005. SU 953003 A, 23.08.1982. SU 1347504 A2, 23.07.1991. US 2001035127 A1, 01.11.2001. JP 11236673 A, 31.08.1999.
Имя заявителя:
БЕНЕК ОЙ (FI)
Изобретатели:
СОИНИНЕН Пекка (FI) СНЕК Сами (FI)
Патентообладатели:
БЕНЕК ОЙ (FI)
Приоритетные данные:
28.04.2006 FI 20065275
Реферат
Изобретение относится к термоисточнику, используемому в устройствах для осаждения из паровой фазы для подачи исходного вещества в реактор. Термоисточник (1) содержит контейнер (2) для исходного вещества, имеющий полость (4). Контейнер (2) для исходного вещества выполнен съемным с возможностью присоединения к крышке (6), имеющей первое нагревательное устройство (8) для нагревания крышки (6) таким образом, что тепло за счет теплопроводности передается контейнеру (2) и далее исходному веществу в полости (4). Крышка (6) дополнительно содержит обогреваемый подводящий канал (14), находящийся в жидкостной связи с полостью (4), для подачи исходного вещества из полости (4) в реактор таким образом, что между контейнером (2) для исходного вещества и реактором достигается возрастающий градиент температуры. Получен термоисточник, обеспечивающий получение градиента температуры, возрастающего по направлению к реактору, что предотвращает конденсацию исходного вещества. 18 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента