FR 2736361 A, 10.01.1997. WO 2004/113586 A, 29.12.2004. US 5522343 A, 04.06.1996. RU 2192504 C1, 10.11.2002. RU 2089664 C1, 10.09.1997. SU 49238 A, 31.08.1936. SU 301379 A, 02.06.1971.
Имя заявителя:
ЮРОПИАН АЭРОНОТИК ДЕФЕНС ЭНД СПЕЙС КОМПАНИ ЭАДС ФРАНС (FR)
ЮРОПИАН АЭРОНОТИК ДЕФЕНС ЭНД СПЕЙС КОМПАНИ ЭАДС ФРАНС (FR)
Приоритетные данные:
30.01.2006 FR 0600829
Реферат
Изобретение относится к коррозионно-стойкой тонкопленочной многослойной структуре и коррозионно-стойкому компоненту, обладающим низкой скоростью изнашивания и низким коэффициентом трения, и способу осаждения покрытия упомянутых пленок. Коррозионно-стойкая структура включает от 1 до 1000 групп, причем одна группа включает от 2 до 100 слоев (А, В) на основе углерода, кремния и водорода и, необязательно, функциональный поверхностный слой (FSL). Компонент включает такую тонкопленочную многослойную структуру. Способ включает создание в камере первичного вакуума и затем вторичного вакуума. Выполняют травление основы в активной зоне. Формируют связующий слой путем введения в активную зону камеры предварительно обработанного газа и, продолжая нагревать основу и поддерживать регулируемую температуру, формируют многослойную структуру путем введения в активную зону химически активного газа. Химически активный газ содержит единственное соединение с тетраэдрической кремниевой структурой или кремнийсодержащую смесь. В результате получают покрытие, обладающее высокими трибологическими и адгезионными свойствами, высокой механической прочностью покрытия и высокой термостойкостью. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 2 ил., 4 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента