DE 4239391 A1, 21.11.1996. US 5938406 A1, 17.08.1999. ЕР 1485622 А1, 15.12.2004. RU 2228389 C2, 10.05.2004.
Имя заявителя:
ЭРЛИКОН ЛЕЙБОЛД ВЭКЬЮМ ГМБХ (DE)
Изобретатели:
ФРОЙТЦХАЙМ Михель (DE) ХЕППЕКАУЗЕН Йозеф (DE)
Патентообладатели:
ЭРЛИКОН ЛЕЙБОЛД ВЭКЬЮМ ГМБХ (DE)
Приоритетные данные:
27.08.2005 DE 102005040648.3
Реферат
Изобретение относится к способу покрытия изделий из вентильных металлов, которые применяются в качестве комплектующих для турбомолекулярных насосов. Изделие, изготовленное из вентильных металлов, выбранных из алюминия, магния, титана, ниобия и/или циркония и их сплавов, покрывают оксидным керамическим слоем, образованным из металла плазмохимическим способом. Керамический слой имеет барьерный межфазный слой, прилегающий к металлу, чью поверхность покрывают полимером, образованным из мономеров в виде димеров или галогенированных димеров общей формулы I