

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

РЕАКТОР

Номер публикации патента: 2405063

Вид документа:	C2
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2007137545/02

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	6
Основные коды МПК:	C23C016/455 C23C016/54
Аналоги изобретения:	SU 1338451 A1, 10.03.1995. SU 1600383 A1, 10.12.1996. SU 405973 A, 11.11.1974. RU 2036246 C1, 27.05.1995. RU 2162117 С2 20.01.2001. JP 9186148 A, 15.07.1997. US 6326056 B1, 04.12.2001. US 2004129219 A, 08.07.2004. US 2004083951 A, 06.05.2004.

Имя заявителя:	БЕНЕК ОЙ (FI)
Изобретатели:	СОИНИНЕН Пекка (FI)
Патентообладатели:	БЕНЕК ОЙ (FI)
Приоритетные данные:	22.04.2005 FI 20055188

Реферат

Изобретение относится к реактору для послойного атомного осаждения. Реактор содержит вакуумную камеру (1), имеющую первую торцевую стенку (2) с монтажным люком, вторую торцевую стенку (3) с задним фланцем, боковые стенки/корпус (4), соединяющие первую и вторую торцевые стенки (2, 3), и по меньшей мере один фитинг (5) материала источника для подачи материалов источника в вакуумную камеру (1) реактора. По меньшей мере один из фитингов (5) материала источника расположен в боковой стенке/корпусе (4) вакуумной камеры (1) реактора. В реакторе обеспечен визуальный контроль, упрощена конструкция реактора. 15 з.п. ф-лы, 1 ил.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"