RU 2299929 C2, 27.05.2007. RU 2293796 C2, 20.02.2007. WO 09737375 A1, 09.10.1997. WO 2007136023 A, 29.11.2007. EP 0867538 A1, 30.09.1998.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения" (RU)
Изобретатели:
Ральченко Виктор Григорьевич (RU) Сергейчев Константин Федорович (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения" (RU)
Реферат
Изобретение относится к СВЧ плазменному реактору и может найти применение при формировании пленки большого размера, соизмеримого по диаметру с длиной СВЧ волны. Реактор содержит герметичную осесимметричную камеру с каналами для газа и установленные в ней радиальный волновод, центральная часть которого является СВЧ резонатором, держатель подложки, коллектор, газовый теплообменник и тороидальную мембрану. Газовый теплообменник содержит цилиндрическую камеру, установленную коаксиально с держателем подложки. Тороидальная мембрана образует в сечении U-образный полуволновой шлейф и расположена между радиальным волноводом и держателем подложки. Держатель подложки выполнен цилиндрическим, осесимметричным, массивным из термостойкого и теплопроводного металла. Один из каналов для газа выполнен осевым и соединен с цилиндрической камерой теплообменника, а другой канал для газа - с коллектором. Цилиндрическая камера соединена с обратной по отношению к подложке и СВЧ разряду стороной упомянутого держателя, контактирует с ней по площади от 30 до 90% площади обратной стороны держателя и соединена с коллектором посредством зазора. Держатель подложки соединен с радиальным волноводом через тороидальную мембрану. Технический результат изобретения состоит в обеспечении поддержания однородной температуры на подложке увеличенной площади. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента