RU 2106204 C1, 10.03.1998. RU 2149218 C1, 20.05.2000. RU 2102528 C1, 20.01.1998. US 2003138645 A1, 24.07.2003. US 5356673 A, 18.10.1994. JP 59129771 A, 26.07.1984.
Имя заявителя:
Учреждение Российской Академии наук Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской Академии наук (RU)
Изобретатели:
Ребров Алексей Кузьмич (RU) Тимошенко Николай Иванович (RU) Сафонов Алексей Иванович (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской Академии наук Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской Академии наук (RU)
Реферат
Изобретение относится к химическому газофазному способу нанесения покрытий и может быть использовано в микроэлектронике, медицине, химической, текстильной и других областях промышленности. В вакуумной камере реактора для испарения и пиролиза, содержащего один или более полимеров, размещают реактор для контролируемого испарения металла, содержащего один или более металлов, и подложку. Осуществляют одновременный нагрев реактора для испарения и пиролиза для разложения полимера до газа-прекурсора и реактора для контролируемого испарения металла. Формируют сверхзвуковую либо дозвуковую струю при прохождении газа-прекурсора через сопло реактора для испарения и пиролиза. Затем осуществляется натекание образовавшейся струи на нагретую проволочную сетку, установленную на сопле реактора для испарения и пиролиза, и подача образовавшейся струи на подложку. На подложке осуществляется полимеризация с образованием полимерного материала. Одновременно в нагретый реактор для контролируемого испарения металла подают несущий газ. Затем струю несущего газа вместе с парами одного или более металлов и/или их оксидов подают на подложку и осуществляют перемешивание паров одного или более металлов и/или их оксидов с образующимся полимером на вращающейся подложке с образованием металлополимерного материала. Процесс осуществляют при давлении в вакуумной камере 10-2-10-1 Торр. Получаются металлополимерные материалы с новыми уникальными свойствами, при этом упрощается конструкция и уменьшается стоимость установки для получения металлополимерных покрытий. 5 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента