Изобретение относится к области материаловедения и может быть применено для защиты изделий из органических материалов - таких как органические стекла, оптические линзы, солнечные преобразователи, концентраторы излучения. Осуществляют подачу азота в вакуумную камеру с установленными в ней ионным и магнетронным источниками до повышения давления до 0,02-0,08 Па и зажигание плазмы тлеющего разряда. Подачу между катодом и анодом ионного источника постоянного напряжения для ускорения потока ионов азота и очистку потоком ионов азота поверхности подложки с температурой, не превышающей 80°С, установленной подвижно относительно потока ионов. После очистки прерывают подачу азота и в вакуумную камеру подают смесь азота N2 и пары толуола С7Н8 в соотношении N2:C7H8 (90-70):(10-30)% до тех пор, пока в камере установится давление 0,02-0,05 Па, и наносят буферный адгезионный слой толщиной 40-60 нм с показателем преломления от 1,5 до 1,8 при изменении мощности ионного источника в пределах 40-60 Вт и напряжения смещения подложки от +50 до +100 В. Затем в ионный источник подают пары толуола до давления 0,05-0,1 Па и наносят защитный слой толщиной 80-120 нм с показателем преломления от 2,1 до 2,4 при изменении напряжения смещения подложки от -100 до -200 В и мощности ионного источника в пределах 60-80 Вт. В ионный источник подают пары жидкости C6H12NSi2 до давления 0,1-0,2 Па и подают на подложку напряжение смещения от -150 до -250 В для нанесения антизагрязняющего слоя -SiCxNy толщиной 30-50 нм. Повышается защищенность органических веществ от разрушающих и загрязняющих воздействий внешней среды. 1 з.п., 6 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента