US 6162300 A, 19.12.2000. SU 1724729 A1, 07.04.1992. SU 1723193 A1, 30.03.1992. SU 792986 А, 15.04.1987. SU 884339 A, 10.03.1995. RU 2060299 C1, 20.05.1996. US 4543467 A, 24.09.1985. US 4607152 A, 19.08.1986.
Имя заявителя:
БЕНЕК ОЙ (FI)
Изобретатели:
СОИНИНЕН Пекка (FI)
Патентообладатели:
БЕНЕК ОЙ (FI)
Приоритетные данные:
22.04.2005 FI 20055189
Реферат
Изобретение относится к источнику твердого или жидкого материала для реакторов для осаждения из газовой фазы, устройству для установки источника в реакторе для осаждения из газовой фазы и способу установки источника в реакторе. Источник выполнен с возможностью установки, по меньшей мере, частично в фитинге, соединенном с реакционной емкостью реактора для осаждения из газовой фазы. Источник состоит из стержня (5), имеющего первый конец (11) и второй конец (9), камеры (1) для твердого или жидкого материала, расположенной на втором конце (9) или рядом с ним и имеющей по меньшей мере одну, по меньшей мере, частично открытую стенку и изолирующие средства в виде кожуха, выполненные с возможностью установки на стенке камеры (1) для изоляции камеры от окружающей среды. Изолирующие средства в виде кожуха и камера (1) выполнены с возможностью скольжения друг относительно друга для открытия и/или закрытия камеры (1) после установки источника в фитинге реактора. В результате достигается упрощение обслуживания и работы с источником и устройством. 4 н. и 26 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента