Изобретение относится к пленкообразующему устройству, согласующему блоку упомянутого устройства и способу управления импедансом и может найти применение при изготовлении изделий с пленочным покрытием, полученным плазмохимическим осаждением из газовой фазы. Изобретение обеспечивает управление импедансом, чтобы избежать гашения плазмы, вызванного резким изменением импеданса нагрузки, что может произойти сразу после возникновения плазмы. Пленкообразующее устройство содержит источник питания, согласующую цепь, управляющую секцию, электрод, выполненный с возможностью приема электроэнергии от источника питания через согласующую цепь и генерирования плазмы на основе электроэнергии внутри пленкообразующей камеры. В камере размещена мишень для образования пленки. Управляющая секция выполнена с возможностью управлять импедансом согласующей цепи. Управляющая секция поддерживает импеданс согласующей цепи постоянным в течение периода остановки согласования, начинающегося в первый момент времени, когда источник питания начинает подавать электроэнергию на электрод, и управляет импедансом согласующей цепи на основе мощности волны, отраженной от электрода, в течение периода автоматического согласования, начинающегося во второй момент времени, когда заканчивается период остановки согласования. 3 н. и 6 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента