WO 2007136023 A, 29.11.2007. RU 2299929 C2, 27.05.2007. RU 2293796 C2, 20.02.2007. WO 9737375 A1, 09.10.1997.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт прикладной физики РАН (RU)
Изобретатели:
Атежев Владимир Васильевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт прикладной физики РАН (RU)
Реферат
Изобретение относится к СВЧ плазменным реакторам для плазмохимического синтеза вещества из газовой фазы. СВЧ плазменный реактор содержит герметичный осесимметричный радиальный волновод. В центральной части волновода установлены подложка, держатель подложки. Внешняя по отношению к подложке сторона держателя соединена с теплообменником. Между держателем подложки и теплообменником, с зазором по отношению к стенке реактора, установлен теплоотводящий элемент такой формы, что площадь сечения поперечного оси симметрии теплоотводящего элемента уменьшается с увеличением расстояния от подложки. Изобретение позволяет обеспечить равномерную температуру подложкодержателя за счет избирательного теплоотводящего элемента, что позволяет получать однородные качественные пленки материала в СВЧ плазменном реакторе без применения дополнительных устройств контроля и управления. 6 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента