WO 2005060383 A2, 07.07.2005. RU 2303078 C2, 20.07.2007. US 5407705 A, 18.04.1995. US 2003032283 A1, 13.02.2003.
Имя заявителя:
Химический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова (RU), Учреждение Российской академии наук Физический институт им. П.Н.Лебедева РАН (RU)
Изобретатели:
Самойленков Сергей Владимирович (RU) Котова Оксана Вячеславовна (RU) Кузьмина Наталия Петровна (RU) Лепнев Леонид Сергеевич (RU) Витухновский Алексей Григорьевич (RU)
Патентообладатели:
Химический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова (RU) Учреждение Российской академии наук Физический институт им. П.Н.Лебедева РАН (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам и устройствам для получения тонких пленок координационных соединений. Способ включает перевод исходных соединений в газовую фазу в пространственно изолированных зонах, их раздельную транспортировку в зону проведения газофазной реакции посредством газа-носителя и осаждение тонкой пленки. При этом одно из исходных соединении подают в зону реакции, предварительно заполненную вторым исходным соединением в направлении, перпендикулярном направлению подложки, а смешение исходных соединений осуществляют в непосредственной близости от подложки. Установка для осуществления способа включает три связанные между собой, раздельно термостатируемые зоны - (1) и (2) для перевода исходных соединений в газовую фазу и (3) для проведения газофазной реакции. Кроме того, устройство содержит подложкодержатель (4), установленный в зоне (3), вводы (6) и (7) для подачи газа-носителя соответственно в зоны (1) и (2) и вывод (8) для вывода газа-носителя из установки, размещенный в зоне (3) позади подложкодержателя (4). При этом зоны (1) и (3) соединены с возможностью подачи газа-носителя из зоны (1) в зону (3) через вывод (5), площадь сечения которого меньше площади сечения зоны (3) и конец которого расположен ближе к подложкодержателю (4), чем место соединения зон (2) и (3). Технический результат - получение пленок заданного состава и с необходимыми характеристиками. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента