На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ИЗ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО АЛМАЗА | |
Номер публикации патента: 2357001 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C016/27 C23C016/50 C23C014/06 | Аналоги изобретения: | WO 2007045479 А, 26.04.2007. RU 2032765 C1, 10.04.1995. EP 0520832 A1, 30.12.1992. US 5273731 A, 28.12.1993. JP 05-078851 A, 30.03.1993. БЕРРИ Р. и др. Тонкопленочная технология. - М.: Энергия, 1972, с.319. |
Имя заявителя: | ООО "ТВИНН" (RU) | Изобретатели: | Кудряшов Олег Юрьевич (RU) Леонтьев Игорь Анатольевич (RU) Духновский Михаил Петрович (RU) Федоров Юрий Юрьевич (RU) Ратникова Александра Константиновна (RU) | Патентообладатели: | ООО "ТВИНН" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения изделий из поликристаллического алмаза, получаемого из смеси метана и водорода в плазме разряда. Проводят подготовку подложки прорезанием на ней канавок с образованием площадки, соответствующей конфигурации готового изделия. Канавки выполняют шириной, составляющей удвоенную толщину пленки готового изделия, и глубиной, превышающей ширину.
|