|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ДИЭЛЕКТРИКОВ |  |
Номер публикации патента: 2331717 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/30 C23C016/455 C23C016/458 B82B003/00 H01L021/02 | | Аналоги изобретения: | US 6812157 А, 02.11.2004. RU 2190037 C2, 27.09.2002. RU 2040589 C1, 25.07.1995. JP 2001254181 A, 18.09.2001. US 6849241 A, 01.02.2005. US 6811614 A, 02.11.2004. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью "Наноинженерия"(ООО "Наноинженерия") (RU) | | Изобретатели: | Дрозд Виктор Евгеньевич (RU) | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью "Наноинженерия"(ООО "Наноинженерия") (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области полупроводниковой нанотехнологии, к области тонкопленочного материаловедения, а именно к устройствам для нанесения тонких пленок и диэлектриков. Устройство содержит камеру с рабочей частью внутреннего пространства в форме цилиндра, внутри которой расположены основание, подложка для нанесения пленок, система напуска реагентов и буферных газов, нагревательные элементы и двигатель с валом.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента