|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК, УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК И СПОСОБ МОНИТОРИНГА ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2324765 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/513 C23C016/52 C23C016/42 C08J007/06 | | Аналоги изобретения: | ЕР 0741196 А, 06.11.1996. RU 2165476 C1, 20.04.2001. RU 2188878 C2, 10.09.2002. JP 8316214 A, 29.11.1996. JP 2001220679 A, 14.08.2001. JP 11181570 A, 06.07.1999. ЕР 0469926 А, 05.02.1992. |
| Имя заявителя: | ТОППАН ПРИНТИНГ КО., ЛТД. (JP) | | Изобретатели: | КАКЕМУРА Тосиаки (JP)
КАСИМА Хирото (JP)
ЦУДЗИНО Манабу (JP) | | Патентообладатели: | ТОППАН ПРИНТИНГ КО.
ЛТД. (JP) |
Реферат | |
Изобретение относится к способу для формирования тонких пленок оксида на поверхности подложки, устройству для формирования тонких пленок (варианты) и способу мониторинга процесса формирования тонких пленок и может быть использовано при изготовлении упаковок в различных отраслях производства. Газовую смесь, содержащую газообразный мономер и окисляющий реакционный газ, превращают в плазму при изменении соотношения величины потока газообразного мономера к величине потока реакционного газа таким обра
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента