|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СИСТЕМА ТОКОПРИЕМНИКА |  |
Номер публикации патента: 2304635 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/46 | | Аналоги изобретения: | US 4794217 A, 27.12.1988. WO 0238838 А, 16.05.2002. GB 1458222 A, 08.12.1976. SU 1513949 A1, 10.03.1995. RU 2107970 C1, 27.03.1998. WO 0238839 А, 16.05.2002. |
| Имя заявителя: | ЕТК ЭПИТАКСИАЛ ТЕКНОЛОДЖИ СЕНТЕР СРЛ (IT) | | Изобретатели: | МАККАЛЛИ Джиакомо Николао (IT)
ВАЛЕНТЕ Джианлука (IT)
КОРДИНА Олле (US)
ПРЕТИ Франко (IT)
КРИППА Данило (IT) | | Патентообладатели: | ЕТК ЭПИТАКСИАЛ ТЕКНОЛОДЖИ СЕНТЕР СРЛ (IT) |
Реферат | |
Данное изобретение относится к системе токоприемника для устройства, выполненного с возможностью обработки подложек и/или пластин. Система токоприемника имеет полость (1), которая служит камерой для обработки подложек и/или пластин и которая проходит в продольном направлении и ограничена верхней стенкой (2), нижней стенкой (3), правой боковой стенкой (4), и левой боковой стенкой (5).
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента