|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ И УСТАНОВКА ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ РЕАГЕНТОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ |  |
Номер публикации патента: 2303078 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/448 | | Аналоги изобретения: | US 5776255 A, 07.07.1998. SU 1030420 A, 23.07.1983. SU 441359 A, 10.09.1974. RU 2094527 C1, 27.10.1997. GB 990247 A, 28.04.1965. JP 56-059112 A, 22.05.1981. |
| Имя заявителя: | ПИЛКИНГТОН НОРТ АМЕРИКА, ИНК. (US) | | Изобретатели: | НЕЛСОН Дуглас М. (US) | | Патентообладатели: | ПИЛКИНГТОН НОРТ АМЕРИКА
ИНК. (US) |
Реферат | |
Изобретения относятся к способу и устройству для испарения жидких реагентов, используемых в качестве предшественников при нанесении покрытий химическим осаждением из паровой фазы. Жидкие предшественники покрытия непрерывно инжектируют в испарительную камеру, в которой они превращаются в пар. В испарительной камере расположено устройство для распределения жидких предшественников покрытия, которое приводится во вращение не имеющей уплотнений приводной магнитной муфтой.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента