|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СВЧ ПЛАЗМЕННЫЙ РЕАКТОР |  |
Номер публикации патента: 2299929 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/513 H01F041/22 | | Аналоги изобретения: | RU 2061092 C1, 27.05.1996. RU 2060494 C1, 10.03.1995. SU 1832134 A1, 07.08.1993. SU 1832131 A1, 07.08.1993. US 5501740 A, 26.03.1996. JP 57012032 A, 21.01.1982. |
| Имя заявителя: | ООО "Оптосистемы" (RU) | | Изобретатели: | Конов Виталий Иванович (RU)
Ральченко Виктор Григорьевич (RU)
Сергейчев Константин Федорович (RU)
Хаваев Валерий Борисович (RU)
Вартапетов Сергей Каренович (RU)
Атежев Владимир Васильевич (RU) | | Патентообладатели: | ООО "Оптосистемы" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к металлообработке, в частности к СВЧ плазменному реактору, и может найти применение в машиностроении и металлургии при изготовлении изделий с покрытиями, полученными способом плазменного парофазного химического осаждения пленок. СВЧ плазменный реактор содержит осесимметричную герметичную рабочую камеру в виде цилиндра, соосно расположенную в центральной его части платформу, образующую с внутренней торцевой стороной рабочей камеры радиальный волновод, центральная часть котор
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента