|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПО МЕНЬШЕЙ МЕРЕ ЧАСТИЧНО КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЕВОГО СЛОЯ НА ПОДЛОЖКУ |  |
Номер публикации патента: 2258764 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/24 C23C016/513 | | Аналоги изобретения: | SU 1738872 A1, 07.06.1992. RU 2100477 C1, 27.12.1997. WO 00/74932 A1, 14.12.2000. EP 0143701 A1, 05.06.1985. EP 0297637 A, 04.01.1989. |
| Имя заявителя: | ТЕХНИШЕ УНИВЕРСИТЕТ ЭЙНДХОВЕН (NL) | | Изобретатели: | ХАМЕРС Эдвард Алойс Герард (NL)
СМЕТС Арно Хендрикус Мари (NL)
ВАН ДЕ САНДЕН Мауритиус Корнелиус Мария (NL)
СХРАМ Даниель Корнелис (NL) | | Патентообладатели: | ТЕХНИШЕ УНИВЕРСИТЕТ ЭЙНДХОВЕН (NL) |
Реферат | |
Изобретение относится к способу и устройству для осаждения по меньшей мере частично кристаллического кремниевого слоя на подложку и может быть использовано в различных отраслях машиностроения. Генерируют плазму и подложку подвергают воздействию кремнийсодержащей текучей среды-источника и вспомогательной текучей среды, обладающей способностью вытравливать некристаллически связанные атомы кремния.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента