|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОВОДЯЩЕЙ ЛЕГИРОВАННОЙ АЛМАЗОПОДОБНОЙ НАНОКОМПОЗИТНОЙ ПЛЕНКИ |  |
Номер публикации патента: 2242534 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/06 C23C016/22 C23C016/56 C23C030/00 | | Аналоги изобретения: | RU 2186152 С1, 27.07.2002. RU 2118206 С1, 27.08.1998. US 5902640 А, 11.05.1999. US 5827613 А, 22.10.1998. |
| Имя заявителя: | Сидорова Людмила Петровна (RU) | | Изобретатели: | Сидорова Л.П. (RU)
Бекирев У.А. (RU) | | Патентообладатели: | Сидорова Людмила Петровна (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области материалов для микроэлектроники. Изготавливают пленку, содержащую в качестве основных элементов С, Si, О, Н, легированную молибденом, пропускают через пленку переменный ток в виде серии импульсов, подвергают пленку электротермовоздействию с использованием различных внешних источников питания на различных участках снимаемой в процессе тренировки N-образной вольтамперной характеристики и с периодическим отключением тока после каждого установленного значения амплитуды
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента