На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОВОДЯЩЕЙ ЛЕГИРОВАННОЙ АЛМАЗОПОДОБНОЙ НАНОКОМПОЗИТНОЙ ПЛЕНКИ И ПРОВОДЯЩАЯ ЛЕГИРОВАННАЯ АЛМАЗОПОДОБНАЯ НАНОКОМПОЗИТНАЯ ПЛЕНКА | |
Номер публикации патента: 2186152 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C016/27 C23C016/46 C23C030/00 | Аналоги изобретения: | RU 2118206 C1, 27.08.1998. US 5352493, 04.10.1994. WO 97/16580 А1, 09.05.1997. WO 97/48836 А1, 24.12.1997. WO 88/02792 А1, 24.04.1988. |
Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Патинор Коутингс Лимитед" | Изобретатели: | Сидорова Л.П. Дмитриев В.К. Инкин В.Н. | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Патинор Коутингс Лимитед" |
Реферат | |
Способ изготовления проводящей легированной алмазоподобной нанокомпозитной пленки, имеющей в своем составе в качестве основных элементов углерод, кремний, металл, кислород и водород, осуществляется следующим образом. Размещают в вакуумной камере держатель с подложкой, на которую подают напряжение 0,3-5,0 кВ.
|