|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2100477 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C016/24 C23C016/50 | | Аналоги изобретения: | Application physics communications. - 1990, 10, N 1/2, p.71 - 74. |
| Имя заявителя: | Шарафутдинов Равель Газизович | | Изобретатели: | Шарафутдинов Равель Газизович
Скрынников Александр Валерьевич
Полисан Андрей Андреевич | | Патентообладатели: | Шарафутдинов Равель Газизович
Скрынников Александр Валерьевич
Полисан Андрей Андреев |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии нанесения пленок и может быть использовано для изготовления тонкоплепочных кремниевых солнечных элементов, фоточувствительных материалов для оптических сенсоров и тонкопленочных транзисторов большеразмерных дисплеев. Способ осаждения пленок гидрогенизированного кремния заключается в том, что рабочий газ из источника подают в вакуумную камеру для создания сверхзвукового потока кремнийсодержащих газов, который пропускается через электронно-пучковую плазму для создания в потоке газа примеси нейтральных радикалов кремния для осаждения пленки на поверхности подложки, размещенной в потоке газа низкого давления. 3 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента