|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ КАРБИДА КРЕМНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ |  |
Номер публикации патента: 2060299 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C016/32 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент США N 3918396, кл. C 23C 13/08, 1975.2. Патент ФРГ N 144512, кл. 12 G 17/28, 1965. |
| Имя заявителя: | Иванов Леонард Степанович | | Изобретатели: | Левин В.Г.
Люкшин Е.Н.
Иванов Л.С.
Куроленкин Е.И.
Ольский Ю.Я. | | Патентообладатели: | Иванов Леонард Степанович
Черников Георгий Евгеньевич
Митин Владимир Васильевич
Акционерное общество "Корпорация НТЛ"
Акционерное общество "Р |
Реферат | |
Изобретение относится к устройствам для осаждения из газовой фазы слоев композиционных материалов и может быть использовано для получения слоев и изделий из карбида кремния, характеризующихся теоретической плотностью, стехиометрическим составом, а также высокой производительностью и выходом годного. Устройство для осаждения слоев карбида кремния из газовой фазы содержит водоохлаждаемый вертикальный реактор круглого сечения, установленный на водоохлаждаемом основании, патрубки для ввода и вывода парогазовой смеси, оправку, внутри которой коаксиально расположен нагреватель. Оправка и нагреватель установлены на опорных элементах, нагреватель выполнен в виде внешнего цилиндра из углеродного материала и размещенного внутри него токоведущего стержня, опорный элемент выполнен в виде двух плит, установленных одна над другой с центральным отверстием в верхней плите для токоведущего стержня, оправка и цилиндр нагревателя герметично установлены на верхней плите, токоведущий стержень укреплен на нижней опорной плите с зазором в центральном отверстии верхней плиты, в которой установлена втулка из изолирующего материала, при этом соотношение диаметра оправки и диаметра реактора, высоты оправки и высоты реактора 1 : (3 - 4) и 1 : (1,3 - 2,0) соответственно; оправка выполнена из инертного композиционного материала с коэффициентом термического расширения КТР ≥ КТР карбида кремния, например из карбида кремния или силицированного графита, имеет форму цилиндра или многогранника или выполнена многослойной с наружным слоем из графитовой ткани и/или графитового войлока. Нагреватель выполнен из материала, работающего в диапазоне температур 2500oС. Реактор выполнен со смотровыми окнами, расположенными по высоте оправки. 7 з. п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента