|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ |  |
Номер публикации патента: 94042112 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94042112 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Товарищество с ограниченной ответственностью "Старт-А-Техно" | | Изобретатели: | Тимергалиев Р.Ш. |
Реферат | |
Сущность изобретения: в рабочей камере размещают транспортно-позиционирущее устройство с подложкой и мишень твердого вещества, камеру вакуумируют, напускают в нее рабочий газ и формируют в зоне обработки поверхности подложки поток пара, полученного испарением мишени твердого вещества стационарным электронным пучком, в камере формируют по меньшей мере еще один дополнительный электронный пучок, направляют его в зону обработки поверхности подложки, причем ось дополнительного электронного пучка пересекает ось потока пара. Предусмотрена подача в дополнительный электронный пучок дополнительного твердого вещества, его испарение и направление на поверхность подложки потока химически активных частиц из смеси паров твердых веществ и рабочего газа. Предпочтительным является формирование дополнительного электронного пучка ленточной конфигурации.
|
Поиск патентов