Российская Федерация в лице Министерства промышленности и торговли Российской Федерации (RU)
Изобретатели:
Григорьев Сергей Николаевич (RU) Андреев Александр Геннадиевич (RU) Рюмкин Яков Иванович (RU) Вислагузов Алексей Анатольевич (RU)
Патентообладатели:
Российская Федерация в лице Министерства промышленности и торговли Российской Федерации (RU)
Реферат
Изобретение относится к области металлургии в частности к технике вакуумно-плазменного нанесения металлосодержащих покрытий. Катодный узел электродугового испарителя содержит катод 1, расположенный на фланце 2 и изолированный от него изолятором 3. На фланце крепится защитный кожух 4 с закрепленным на нем поджигающим электродом 5, который в свою очередь изолирован от фланца 2 при помощи изолятора 6. Фланец крепится к охлаждаемой рубашке 7 при помощи изолятора 8. На охлаждаемой рубашке 7 снаружи по периметру установлена фокусирующая электромагнитная катушка 9. Цилиндрическая рубашка изолированно крепится по фланцу камеры 10 при помощи изолятора 11. В процессе работы катодного узла осуществляется испарение материала мишени 12. При достижении критичного расхода материала мишени 12 для обеспечения оптимальной работы установки в зоне возникновения плазменной дуги катод 1 перемещают на технологически регламентированное расстояние. В целях регулировки положения катодного пятна на плазменную дугу воздействуют электромагнитным полем, создаваемое фокусирующей электромагнитной катушкой 9, что в конечном итоге позволяет обеспечить качество покрытия. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента