RU 2095465 C1, 10.11.1997. RU 2066703 C1, 20.09.1996. SU 1466260 A1, 10.01.1996. US 2003185965 A1, 02.01.2003. US 7718045 B2, 18.05.2010.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ГОУ ВПО "КубГТУ") (RU)
Изобретатели:
Фёдоров Александр Алексеевич (RU) Шапошникова Татьяна Леонидовна (RU) Гаврилов Александр Иванович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ГОУ ВПО "КубГТУ") (RU)
Реферат
Изобретение относится к электротермическому машиностроению, а именно к вакуумным установкам для нанесения покрытий в разряде. Изобретение может быть использовано в машиностроении, автостроении и химической промышленности. Устройство содержит вакуумную камеру, электродуговой испаритель, подложку для размещения детали, соединенную с отрицательной клеммой источника питания, и размещенный на подложке изолятор с установленным на нем защитным корпусом и электрически изолированным экраном, расположенным между электродуговым испарителем и защитным корпусом. При этом экран выполнен в виде чередующихся прозрачных и непрозрачных концентрических колец. Внешние радиусы этих колец Rm соответствуют зонам Френеля и определяются по формуле , где а - расстояние от испарителя до электрически изолированного экрана, b - расстояние от электрически изолированного экрана до обрабатываемой детали, m - порядковый номер концентрического кольца, соответствующего зоне Френеля, - длина волны де Бройля иона осаждаемого покрытия. Диаметр электрически изолированного экрана равен максимальному геометрическому размеру проекции детали на подложку. Технический результат - повышение адгезии, плотности и прочности осаждаемого на диэлектрик покрытия. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента