Lu С. et al. Rate controlling and composition analysis of alloy deposition processes by electron impact emission spectroscopy. - J. Vac. Sci. Technol. Vol.14. 1, 1977, p.103-107. RU 2223471 C1, 10.02.2004. SU 1797628 A3, 09.05.1988. DD 278822 A, 16.05.1990. JP 2007-224322 A, 06.09.2007.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Рыбинская государственная авиационная технологическая академия имени П.А. Соловьева" (RU)
Изобретатели:
Семенов Эрнст Иванович (RU) Черников Виталий Дмитриевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Рыбинская государственная авиационная технологическая академия имени П.А. Соловьева" (RU)
Реферат
Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий в вакууме, а именно к способам определения скорости термического осаждения сплавов. Технический результат - повышение надежности системы возбуждения и расширение диапазона регистрируемых эмиссионных спектров. Способ включает возбуждение электронным ударом атомов сплава в паровой фазе, разложение полученного эмиссионного излучения в спектр, регистрацию спектра и расчет скорости осаждения. При этом возбуждение осуществляют с помощью двух плоскопараллельных металлических пластин, экранированных диэлектрической обкладкой, расположенных друг против друга параллельно пути следования паров испаряемого сплава и подключенных к выводам высокочастотного генератора. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента