RU 2294395 C1, 27.02.2007. RU 2095467 C1, 10.11.1997. RU 2203979 C2, 10.05.2003. RU 2161075 C2, 27.12.2000. JP 62192580 A, 24.08.1987. US 4357365 A, 02.11.1982. KR 970005671 B, 18.04.1997. WO 0231216 A, 18.04.2002.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" (RU)
Изобретатели:
Смыслов Анатолий Михайлович (RU) Смыслова Марина Константиновна (RU) Дыбленко Михаил Юрьевич (RU) Мингажев Аскар Джамилевич (RU) Селиванов Константин Сергеевич (RU) Гордеев Вячеслав Юрьевич (RU) Рябчиков Александр Ильич (RU) Степанов Игорь Борисович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" (RU)
Реферат
Изобретение относится к установке для комбинированной ионно-плазменной обработки и может быть применено в машиностроении, преимущественно для ответственных деталей, например рабочих и направляющих лопаток турбомашин. Установка содержит вакуумную цилиндрическую камеру с загрузочной дверью и фланцами для установки технологических модулей, позволяющих осуществлять комплексную обработку деталей в одном технологическом цикле работы установки. Размеры вакуумной камеры позволяют обрабатывать длинномерные детали. Использование в установке протяженных источников металлической плазмы и электродуговых испарителей, а также форма камеры обеспечивают равномерную и качественную обработку деталей. Установка снабжена высокоэнергетическими источниками для ионной имплантации газа и высокоэнергетическими источниками металлической плазмы, что в сочетании с другими ионно-плазменными и ионно-имплантационными устройствами позволяет получать наноструктурированные и нанослойные покрытия. Повышению качества покрытий способствует применение в установке фильтров капельной фазы. 16 з.п. ф-лы, 1 табл., 2 ил.