RU 2165998 С2, 27.04.2001. RU 2075537 С1, 20.03.1997. US 5108571 А, 28.04.1992. US 363673 А1, 18.04.1990. JP 09-243801 А, 19.09.1997.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "Центр обслуживания и информации" (RU)
Изобретатели:
Гавриленко Игорь Борисович (RU) Гербер Валерий Фишельевич (RU) Ерузин Александр Анатольевич (RU) Климентьева Юлия Игоревна (RU) Подвязников Михаил Львович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Центр обслуживания и информации" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области получения металлических покрытий методом магнетронного и дугового вакуумного распыления материала катода и может быть использовано для получения токопроводящих, защитных, износостойких покрытий на изделиях из керамики. Способ включает размещение изделий в рабочей камере, ее вакуумирование, предварительную плазменную обработку изделий путем ионной очистки изделий аргоном и воздействие на изделия плазмой газа, содержащего окислитель, и распыление катода из металла. Предварительную плазменную обработку изделий проводят в течение 1-14 минут, при этом при воздействии на изделие плазмой газа, содержащего окислитель, на поверхности изделия формируют мономолекулярный слой химического соединения из элементов материала основы и активных элементов газовой плазмы. После предварительной плазменной обработки в рабочей камере создают разрежение до остаточного давления 10-3 Па, а для распыления используют катод, выполненный из металла с удельным сопротивлением не выше 16 мкОм×см. Получаются равномерные по толщине металлические покрытия, повышается адгезия покрытия на поверхности изделия. 5 з.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента