RU 2352684 С1, 20.04.2009. RU 2087563 C1, 20.08.1997. RU 2262151 C1, 10.10.2005. US 6868896 B2, 22.03.2005. JP 2000297365 A, 24.10.2000. US 4915810 A, 10.04.1990.
Имя заявителя:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Изобретатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Патентообладатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Реферат
Способ производства составной мишени для магнетронного распыления включает глубокое вакуумное рафинирование многократным переплавом компонентов, изготовление диска, в котором в распыляемой зоне по двум концентрическим окружностям сверлят отверстия и прессовой посадкой крепят в них цилиндрические вставки, производят получение поликристаллического плоского слитка молибдена, изготавливают из него диск с отверстиями, в котором крепят цилиндрические вставки из монокристаллов ванадия и рения. Составная мишень для магнетронного распыления получена вышеуказанным способом и состоит из литого диска и литых цилиндрических вставок, расположенных в распыляемой зоне диска по двум концентрическим окружностям в шахматном порядке, диск выполнен из поликристаллического молибдена и содержит литые цилиндрические вставки из монокристаллического ванадия и рения. В составной мишени соотношение площадей на поверхности мишени, занимаемых ванадием, рением, молибденом таково, что в результате распыления получаются пленки состава 12-50 м.% ванадия, 3,5-27 м.% рения, остальное молибден. Технический результат - повышение качества и надежности контактно-барьерных пленок в интегральных схемах. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента