|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРУБЧАТОЙ МИШЕНИ И ЕЕ ПРИМЕНЕНИЕ |  |
Номер публикации патента: 2353473 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B22F003/00 C23C014/48 | | Аналоги изобретения: | JP 2000-045066 A, 15.02.2000. RU 2015850 С1, 15.07.1994. RU 2100145 C1, 27.12.1997. JP 03-150356 A, 26.06.1991. US 2005191202 A, 01.09.2005. US 2005061106 A, 24.03.2005. JP 2005133198 A, 26.05.2005. |
| Имя заявителя: | ПЛАНЗЕЕ ЗЕ (AT) | | Изобретатели: | АБЕНТУНГ Петер (AT)
ХУБЕР Карл (AT)
ЛАКНЕР Харальд (AT)
ЛЯЙХТФРИД Герхард (AT)
ПОЛЬЧИК Петер (AT)
ВЕРАТШНИГ Христиан (AT) | | Патентообладатели: | ПЛАНЗЕЕ ЗЕ (AT) |
Реферат | |
Изобретение относится к способу изготовления трубчатой мишени и может найти применение при изготовлении плоских экранов ЖК-дисплеев по тонкопленочной технологии. Трубчатая мишень состоит из трубки из молибдена или молибденового сплава с содержанием кислорода менее 50 мкг/г, плотностью более 99% от теоретической плотности и средним размером зерен поперек осевого направления менее 100 мкм и несущей трубки из немагнитного материала.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента