

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ВОЛЬФРАМ - ТИТАНОВАЯ МИШЕНЬ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И СПОСОБ ЕЕ ПОЛУЧЕНИЯ

Номер публикации патента: 2352684

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2007129700/02

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	7
Основные коды МПК:	C23C014/35 H01J023/00
Аналоги изобретения:	US 5896533 А, 20.04.1999. RU 2210620 С1, 20.08.2001. RU 2068886 C1, 10.11.1996. RU 2262151 A, 10.10.2005. US 4915810 A, 10.04.1990. JP 02-077575 A, 16.03.1990. JP 63-065070 A, 23.03.1988.

Имя заявителя:	Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Изобретатели:	Глебовский Вадим Георгиевич (RU) Штинов Евгений Дмитриевич (RU) Кочетов Олег Савельевич (RU)
Патентообладатели:	Глебовский Вадим Георгиевич (RU)

Реферат

Изобретение относится к вольфрам-титановым мишеням для магнетронного распыления и способам их получения и может быть использовано в микроэлектронике. Согласно способу осуществляют глубокое вакуумное рафинирование многократным переплавом вольфрама и титана с получением поликристаллических слитков титана и монокристаллов вольфрама.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"