|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ СВЕРХТВЕРДОГО ЛЕГИРОВАННОГО УГЛЕРОДНОГО ПОКРЫТИЯ НА КРЕМНИИ В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2342468 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/12 C23C014/24 C23C014/48 | | Аналоги изобретения: | WO 012680 А, 09.06.1994. RU 2254397 C2, 20.06.2005. SU 1710596 A1, 07.02.1992. SU 1314717 A1, 10.09.1995. JP 2006-063369 A, 09.03.2006. JP 2004-047996 A, 12.02.2004. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Белгородский государственный университет" (RU) | | Изобретатели: | Галкина Марина Евгеньевна (RU)
Колпаков Александр Яковлевич (RU)
Сафронова Ольга Вениаминовна (RU)
Суджанская Ирина Васильевна (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Белгородский государственный университет" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к способам формирования сверхтвердого легированного углеродного покрытия на кремнии в вакууме и может быть использовано в устройствах микромеханики и в качестве покрытий для деталей инфракрасной оптики. Способ включает ионизацию легирующего элемента, в качестве которого используют азот, и углерода, из которого изготовлен катод, при помощи вакуумно-дугового разряда в вакуумной камере и последующее осаждение ионов углерода и легирующего элемента на кремниевую подложку.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента