На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПЛАЗМЕННОЙ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛА С ПОКРЫТИЕМ ИЗ ОРГАНИЧЕСКОГО ВЕЩЕСТВА И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2318916 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23G005/00 C23C014/40 | Аналоги изобретения: | DE 4308632 A, 22.09.1994. JP 2000-349141, 15.12.2000. US 5529631 A, 25.06.1996. JP 64011959 A, 17.01.1989. JP 07029884 A, 31.01.1995. US 5938854 A, 17.08.1999. RU 2073743 C1, 20.02.1997. RU 2023745 C1, 30.11.1994. |
Имя заявителя: | ЮЗИНОР (FR) | Изобретатели: | СИЛЬБЕРБЕРГ Эрик (BE) МИШЕЛЬ Эрик (FR) РЕНЬЕ Франсуа (BE) БЮЭСС-ЭРМАН Клодин (BE) | Патентообладатели: | ЮЗИНОР (FR) |
Реферат | |
Изобретение относится к способу очистки поверхности материала с покрытием из органического вещества. В обрабатывающую камеру (2) вводят материал (4). Внутри камеры (2) давление составляет от 10 мбар до 1 бар. В камеру (2) подают газовый поток с содержанием кислорода не менее 90 об.%. Получают плазму пропусканием электрического разряда между поверхностью материала и электродом (5а, 5b, 5c, 5d, 5e, 5f, 5g) с диэлектрическим покрытием для разложения органического вещества под действием образующихся
|