На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2318915 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C014/54 | Аналоги изобретения: | RU 2274676 C2, 20.04.2006. RU 2085831 C1, 27.07.1997. RU 2084819 C1, 20.07, 1997. SU 141504 A1, 07.08.1988. RU 2167392 C2, 20.05.2001. WO 94/11745 A, 26.05.1994. JP 3238303 A, 24.10.1991. JP 58-158504 A, 20.09.1983. |
Имя заявителя: | Ефанов Василий Васильевич (RU),Мужичек Сергей Михайлович (RU),Резуненко Вера Федоровна (RU) | Изобретатели: | Ефанов Василий Васильевич (RU) Мужичек Сергей Михайлович (RU) Резуненко Вера Федоровна (RU) | Патентообладатели: | Ефанов Василий Васильевич (RU) Мужичек Сергей Михайлович (RU) Резуненко Вера Федоровна (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к способу и устройству нанесения покрытий и может быть использовано в приборостроении, электронной промышленности и машиностроении. Возбуждают колебания камертона, на концах которого размещены контрольные образцы. Нагревают контрольные образцы до заданных значений путем сравнения текущей температуры контрольных образцов с заданными.
|