На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ | |
Номер публикации патента: 2312170 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C014/46 C23C014/56 C23C014/54 | Аналоги изобретения: | US 6063244 A, 16.05.2000. RU 2066706 C1, 20.09.1996. SU 1340230 A1, 20.03.1995. RU 2161075 C2, 27.12.2000. KR 970005671 B, 18.04.1997. US 2004264044 A, 30.12.2004. WO 0231216 A, 18.04.2002. |
Имя заявителя: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU),Закрытое акционерное общество "Сибирский монокристалл-ЭКСМА" (RU) | Изобретатели: | Алиев Владимир Шакирович (RU) Вотенцев Василий Николаевич (RU) Хапов Юрий Иванович (RU) | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU) Закрытое акционерное общество "Сибирский монокристалл-ЭКСМА" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к устройству для нанесения многослойных оптических покрытий и может быть использовано при изготовлении лазерной техники при создании просветляющих и отражающих покрытий на торцевых поверхностях полупроводниковых лазеров. Устройство содержит две размещенные в вакуумной камере мишени и два формирователя ионного пучка.
|