|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ С ПЕРИОДИЧЕСКОЙ СТРУКТУРОЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2308538 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 C23C014/56 | | Аналоги изобретения: | X.Chu, M.S.Wong, W.D.Sproul, S.L.Rohde, S.A.Bamett, Deposition and properties polycrystalline TiN/NbN superlattice coating, J.Vac. Sci.TechnoL, A 10 (4), Jul/Aug 1992. RU 2087585 C1, 20.08.1997. RU 2265078 C1, 27.11.2005. WO 03076684 A, 18.09.2003. GB 724020 A, 16.02.1955. US 6196154 A, 06.03.2001. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью научно-производственная фирма "ЭЛАН-ПРАКТИК" (RU) | | Изобретатели: | Агабеков Юрий Вартанович (RU)
Сутырин Александр Михайлович (RU)
Федотов Андрей Васильевич (RU) | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью научно-производственная фирма "ЭЛАН-ПРАКТИК" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к ионно-плазменной технике, в частности к установке для нанесения многослойных нанометрических покрытий с периодической структурой, и может найти применение для модификации поверхностей материалов и изделий в инструментальном производстве, в машино- и приборостроении, и других областях.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента