|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИСПАРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ СУБЛИМИРОВАННЫХ МАТЕРИАЛОВ |  |
Номер публикации патента: 2307877 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/24 | | Аналоги изобретения: | US 5182567 A, 26.06.1993. SU 413218 A, 03.06.1974. SU 215004 A, 13.06.1968. GB 918382 A, 13.02.1963. JP 55079866 A, 16.06.1980. GB 9765674, 06.09.1961. JP 9143693 A, 03.06.1997. US 5016566 A, 21.05.1991. JP 59100269 A, 09.06.1984. |
| Имя заявителя: | Эпплайд Матириалз ГМбХ энд Ко.КГ (DE) | | Изобретатели: | КЛЕММ Гюнтер (DE)
ГЕРЦОГ Йенс (DE)
Д-р ЛОТЦ Ганс-Георг (DE) | | Патентообладатели: | Эпплайд Матириалз ГМбХ энд Ко.КГ (DE) |
Реферат | |
Изобретение касается испарительного устройства, предназначенного прежде всего для установок вакуумного напыления. Испарительное устройство имеет ванну (3) для испаряемого материала и нагревательное устройство с токопроводящими нагревательными стержнями (5), расположенными над ванной (3). Ванна (3) имеет крышку (8) с выходной щелью (16) для испаряемого материала.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента