|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО |  |
Номер публикации патента: 2280097 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | US 5277779 A, 11.01.1994. RU 2089659 C1, 10.09.1997. RU 2072642 C1, 27.01.1997. RU 2107971 C1, 27.03.1998. RU 2074904 C1, 10.03.1997. JP 2000-182877 A, 30.06.2000. JP 06-228749 A, 16.08.1994. JP 03-236468 A, 22.10.1991. |
| Имя заявителя: | Институт физики прочности и материаловедения Сибирское отделение Российской Академии Наук (ИФПМ СО РАН) (RU),Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Вакуумные ионно-плазменные технологии" (НПП "ВИП-Технологии") (RU) | | Изобретатели: | Кузьмин Олег Станиславович (RU)
Косицын Лев Григорьевич (RU)
Лихачёв Владимир Николаевич (RU) | | Патентообладатели: | Институт физики прочности и материаловедения Сибирское отделение Российской Академии Наук (ИФПМ СО РАН) (RU)
Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Вакуумные ионно-плазменные технологии" (НПП "ВИП-Технологии") (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области плазменной техники, а именно к магнетронным распылительным системам, и может быть использовано для осаждения покрытий на поверхности протяженных листовых материалов, в частности для создания покрытий на стекле архитектурного назначения. Магнетронное распылительное устройство содержит магнитный блок, включающий магнитопровод (2) и постоянные магниты (3), и плоский катод-мишень (1).
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента