|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ В ПРОЦЕССЕ НАНЕСЕНИЯ ИХ В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2274676 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/54 | | Аналоги изобретения: | SU 1415041 A1, 07.08.1988. RU 2085831 C1, 27.07.1997. RU 2084819 C1, 20.07.1997. RU 2167392 C2, 20.05.2001. WO 94/11745 A, 26.05.1994. JP 3238303 A, 24.10.1991. JP 58-158504 A, 20.09.1983. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "Сатурн" (RU) | | Изобретатели: | Семенов Эрнст Иванович (RU)
Паутов Илья Юрьевич (RU) | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "Сатурн" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий, в частности к устройству для контроля толщины покрытий в процессе нанесении их в вакууме, и может быть использовано в приборостроении, электронной промышленности и машиностроении для контроля толщины покрытий при нанесении их в вакууме.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента