|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2271409 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C028/00 C23C014/22 | | Аналоги изобретения: | И.Б.ШНЕЙДМАН. Электрография на селеновых слоях. - М.: Машиностроение, 1982, с.40. SU 148317 A, 1962. SU 268845 A, 30.07.1970. SU 1093012 A, 15.04.1982. SU 1552676 A3, 30.06.1994. SU 1644892 A, 15.04.1991. WO 0043119 A, 27.07.2000. US 4814056 A, 21.03.1989. WO 9847613 A, 29.10.1998. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный космический научно-производственный центр им. М.В. Хруничева" (RU) | | Изобретатели: | Качанов Евгений Григорьевич (RU)
Дербенев Леонид Владимирович (RU)
Федин Александр Викторович (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный космический научно-производственный центр им. М.В. Хруничева" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области нанесения покрытий, в частности к установкам для нанесения покрытий в вакууме, и может быть использовано в электрографии, машиностроении, радиоэлектронной и других отраслях промышленности. Установка содержит вакуумную камеру, терморезистивный испаритель для испарения легкоплавких металлов и сплавов, узел крепления и вращения подложки, магнетрон, источник лазерного излучения для распыления и испарения тугоплавких ферромагнитных и неферромагнитных металлов и сплавов
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента