|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНОЙ ПЛЕНКИ |  |
Номер публикации патента: 2254397 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/06 C23C014/22 | | Аналоги изобретения: | US 5660894 А, 26.08.1997. АНЦИФЕРОВ В.Н. и др. Порошковая металлургия и напыленные покрытия. М.: Металлургия, 1987, с.609-610, 640-642. US 5686152 А, 11.11.1997. RU 2114210 С1, 27.06.1998. US 6110541 А, 29.08.2000. |
| Имя заявителя: | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство по атомной энергии - Минатом РФ (RU),Федеральное государственное унитарное предприятие - Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики - ФГУП-РФЯЦ-ВНИИЭФ (RU) | | Изобретатели: | Герасименко В.Ф. (RU) | | Патентообладатели: | Российская Федерация
от имени которой выступает Министерство по атомной энергии - Минатом РФ (RU)
Федеральное государственное унитарное предприятие - Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики - ФГУП-РФЯЦ-ВНИИЭФ (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к получению сверхтвердых покрытий в вакууме, к способам формирования алмазоподобного покрытия и может быть использовано в электронной и эмиссионной технике, в качестве покрытий оптических деталей и в качестве декоративных покрытий. Способ включает установку подложки в разрядной камере, вакуумирование камеры, подачу углеродсодержащей газовой рабочей среды в камеру и создание в ней плазменного разряда с последующим выдерживанием режима плазменного разряда в течение времени оса
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента